欢迎访问齐鲁工业大学(山东省科学院)能源与动力工程学部官网!
能源催化研究室
先进远源等离子体镀膜技术
2023-10-31 0
字体 A+ A A-

靶材均匀利用,无沟道效应,保证化学成分均匀

等离子密度高,溅射速率快,应力可调节,实现零应力成膜

柔性制造,低温高质量成膜,导向方便,可用于3D复杂衬底

image


业务科:0531-82605584   人事科:0531-82605876   办公室:0531-82605557

能源研究所地址:山东省济南市历下区科院路19号

能动学院地址:山东省济南市长清区大学路3501号

官方微信
官方微信
Copyright © 2023 山东省科学院能源研究所    鲁ICP备15020240号